ΚΥΡΙΑΚΟΣ ΤΣΙΑΚΜΑΚΗΣΔΗΜΗΤΡΙΟΣ ΔΕΣΙΠΡΗΣ2024-06-222024-06-2207-07-2022https://thesis.iee.ihu.gr/thesis/685https://dspace.iee.ihu.gr/handle/123456789/11814Μελέτη και σύγκριση συστημάτων ελέγχου μικροηλεκτρομηχανικών στοιχείωνStudy and comparison of microelectromechanical control systemsThesis